產品稱號 | 氣體純度 | 氣瓶規格 | 閥門 | 充裝量(Kg) | 保質期 |
C2F6 | 99.999% | DOT47L | DISS716 | 40 | 2年 |
DOT440L | DISS716 | 460 | 2年 | ||
TT(20'GP) | DISS716 | 10000 | 2年 | ||
備注:可按客戶請求定制包裝規格 |
六氟乙烷又稱全氟乙烷,是乙烷中5個氫共價鍵全數被氟共價鍵替換后的新產品,是鹵代烴(有機化學公式:C2F6),終歸是烴類氧化物乙烷所相對應的全氟氧化物,都是種不易然的廢氣,難易溶水,微易溶醇。
六氟乙烷要采用的具多作用的蝕刻手藝活,令人震驚于半導體行業之主產地。它要采用材料硅化物及材料鈍化物并絕對是其材料栽培基質的取舍性蝕刻。叧外,它亦采用蝕刻硅上的二鈍化硅。六氟乙烷可連在三氟二氧化氮五路采用制冰劑R508A(六氟乙烷占61%)及R508B(六氟乙烷占54%)。
包裝袋收納空間:技術參數完備,按合作方post請求設有裝置陳列。
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